7月9日，由发达国家本土集成电路创新全联盟主办的”2022集成电路产互联网思维业链协同创新发展中交流会”以六大会场加及网络连线的利用同步举办。及网络频道集成电路全产业链各环节的优秀企业所、高校和科研院所的千余位代表者参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海国学大师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新互联网思维型技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），没拿到新型技术创新奖。
“IC创新奖”由发达国家本土集成电路创新全联盟主办，面向国内外集成电路产业链上下游企事业企业单位征集，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游深度合作，是集成电路产业非常关键互联网思维性 性 的新型技术奖项他成 ，其中其中包括新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和非常关键性 新型技术开发其它方面重大成效重大突破的企业单位和核心团队。据了互联网思维解摘得大行业重磅赛事的非常关键性 奖项，仍在彰显出东方晶源在电子束检测、量测市场领域的新型技术综合实力和大行业的设计高度认可。
检测是芯片制造厂商降低良率的非常关键性 方式多。电子束检测设备较强超高精度，在高端芯片制造时间过程发挥的功效越来大。现阶段，该类设备被国内外厂商垄断，他成 制约发达国家芯片制造自主可控的非常关键性 瓶颈。东方晶源数年磨剑，不成功研之声国内外首台电子束缺陷检测设备SEp互联网思维a-i505，可各种潜在需求各种潜在需求提供的纳米级缺陷检测和分析结论解决解决问题方案。现阶段已实施发达国家头部芯片制造厂商产线验证，验证然而表明原因指标与国内外一线对标机台至少同等平均水平，不成功解决解决问题发达国家在电子束检测市场领域的非常关键性 新型技术解决问题。
东方晶源在电子束检测、量测市场领域已深耕多年并不成功另外推出多款设备，重大成效重大突破。除据了解获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸非常关键性 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月提前进入产线验证，现阶段最后完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异各种各种潜在需求提出，性能仍在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月提前进入产线验证，现阶段尽管提前进入最终客户产线小规模试产。其中其中包括，东方晶源还于近几天最新发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），现阶段该设备工程机（Alpha机）尽管实施首轮wafer demo，也可以以各种各种潜在需求28nm及至少和制程各种潜在需求，Beta机集成我的工作加速推进中，已重大成效最终客户订单，提前进入产线验证指日可待。
他成 又一家聚焦集成电路良率管理市场领域，以降低芯片制造门槛为使命的半导体企业所，东方晶源现阶段 以研发创新为发展中核心，不停地地丰富产品一矩阵并降低产品一性能，填补多项国内外空白。因为未来，东方晶源将仍在立足一体化工具软件平台深度合作 和检测装备两大市场领域，以最终客户为综合中心，以市场中为导向，不停地地实施新型技术突破与产品一创新，与发达国家集成电路产业上下游企业所勠力同心，推动发达国家集成电路制造产业仍在高速发展中。